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8月14日光刻機(jī)（膠）板塊較上一交易日下跌0.37%，芯源微領(lǐng)跌。當(dāng)日上證指數(shù)報(bào)收于3178.43，下跌0.34%。深證成指報(bào)收于10755.14，下跌0.5%。光刻機(jī)（膠）板塊個(gè)股漲跌見下表：
從資金流向上來看，當(dāng)日光刻機(jī)（膠）板塊主力資金凈流出2.97億元，游資資金凈流入4137.91萬元，散戶資金凈流入2.55億元。光刻機(jī)（膠）板塊個(gè)股資金流向見下表：
北向資金方面，當(dāng)日光刻機(jī)（膠）板塊北向資金持股市值為59.07億元，增持0.77億元。其中增持最多的是張江高科，增持了0.24億元。減持持最多的是晶方科技，減持了0.16億元。光刻機(jī)（膠）板塊北向資金持股變動明細(xì)見下表：